本文叙述了用红外光谱分析法对真空油扩散泵及其设备进行泵液返流率的测定。

试验证实油扩散泵抽气系统的返油污染对被试卫星造成非常有害的影响。

揭示了扩散泵返流的实质，为减少扩散泵返流提供了理论依据。

所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。

注入回旋加速器真空系统利用了原有油扩散泵。

巩华牌系列扩散泵油是金属扩散泵及玻璃扩散泵真空抽气时使用的工作液。

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。

该机抽气系统由低温泵、扩散泵和机械泵组成。

采用扩散泵和机械泵作高真空抽气系统组成模拟系统，以达到地外紫外线辐照条件。

选用莱宝扩散泵和旋片式机械泵实现了高可靠性和少维护时间。减小系统占地面积。