静电计是一个理想的库仑计，因为它具有非常低的输入偏置电流和很高的输入电阻。

本发明属于微电子器件和微加工方法，特别是涉及一种对电荷超敏感的库仑计及其制备方法。

在库仑计中反馈电路为电容器。

源阻抗的大小能够影响反馈库仑计的噪声性能。